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光電輪廓儀

光電輪廓儀

特點:

本儀器採用非接觸、光學相移干涉測量方法,測量時不損傷工件表面,能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形,並分析計算出測量結果。適用於測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度;尺規、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;矽片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。

由於儀器測量精度高,具有非接觸和三維測量的特點,並採用電腦控制和快速分析、計算測量結果,本儀器適用於各級測試、計量研究單位工礦企業計量室,精密加工車間,也適用於高等院校和科學研究單位等。

規格:
1. 表面微觀不平深度測量範圍:
    在連續表面上,相鄰二象素之間沒有大於1 / 4 波長的高度突變時:1000 一1nm
    相鄰二象素之間含有大於1 / 4 波長的高度突變時:130 一1nm
2. 測量的重複性:δRa ≤0.5nm
    物鏡倍率:40X
    數值孔徑:Ø 65
3. 工作距離:0.5mm
4. 儀器視場 目視:Ø0.25mm
   攝象:0.13×0.13mm
5. 儀器放大倍數 目視:500×
   攝象(電腦螢幕觀察)一2500×
6. 接收器測量列陣:1000X1000
   象素尺寸:5.2×5.2µm
7. 測量時間採樣(掃描)時間:1S
8. 儀器標準鏡 反射率(高): ~50 %
                 反射率(低): ~4 %
9. 照明光源:白熾燈6V 5W
10. 綠色干涉濾光片波長:λ≒530nm
                    半寬度λ≒10nm
11. 主顯微鏡升程:110 mm
12. 工作臺升程:5 mm
13. X 、丫方向移動範圍: ~10 mm
14. 工作臺旋轉運動範圍:360°
15. 工作臺頃斜範圍:±6°
16. 電腦系統:P4 , 2 .8G 以上,記憶體1G以上17寸純平顯示器