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光电轮廓仪

光电轮廓仪

特点:

本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。适用於测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;尺规、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;矽片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。

由於仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用电脑控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用於各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用於高等院校和科学研究单位等。

规格:
1. 表面微观不平深度测量范围:
    在连续表面上,相邻二象素之间没有大於1 / 4 波长的高度突变时:1000 一1nm
    相邻二象素之间含有大於1 / 4 波长的高度突变时:130 一1nm
2. 测量的重复性:δRa ≤0.5nm
    物镜倍率:40X
    数值孔径:Ø 65
3. 工作距离:0.5mm
4. 仪器视场 目视:Ø0.25mm
   摄象:0.13×0.13mm
5. 仪器放大倍数 目视:500×
   摄象(电脑萤幕观察)一2500×
6. 接收器测量列阵:1000X1000
   象素尺寸:5.2×5.2µm
7. 测量时间采样(扫描)时间:1S
8. 仪器标准镜 反射率(高): ~50 %
                 反射率(低): ~4 %
9. 照明光源:白炽灯6V 5W
10. 绿色干涉滤光片波长:λ≈530nm
                    半宽度λ≈10nm
11. 主显微镜升程:110 mm
12. 工作台升程:5 mm
13. X 、丫方向移动范围: ~10 mm
14. 工作台旋转运动范围:360°
15. 工作台顷斜范围:±6°
16. 电脑系统:P4 , 2 .8G 以上,记忆体1G以上17寸纯平显示器